檢索結果:共3筆資料 檢索策略: "趙良君".cadvisor (精準) and year="98"
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本文藉由改變離子束轟擊角度,使Si (100) 基板表面產生不同波長之波紋形貌;使用反應式離子束濺鍍法成長氧化鋅奈米粒子,經由改變成長時間、基板溫度,討論最佳奈米粒子成長參數;最後將奈米粒子分別沉積…
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本實驗為利用離子束能量8、12以及16 keV 沉積不同表面粗糙度的鋅薄膜,再以330、380、400以及420 ℃熱氧化成長氧化鋅奈米線。實驗結果發現只有在離子束能量為12 keV 所沉積的鋅薄膜…
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本實驗使用反應式離子束濺鍍法在矽(100) 基板上沉積氧化鋅掺雜鋁薄膜,利用改變基板溫度、鋁摻雜含量來觀察薄膜特性的改變,分別使用200℃、100℃及室溫來成長薄膜。200℃沉積之晶粒大小最大約為9…